一、适用范围适用于不耐热、不耐湿的诊疗器械的灭菌，如电子仪器、光学仪器等诊疗器械的灭菌，不适用于布类、纸类、水、油类、粉剂等材质的灭菌。
二、灭菌方法1.在专用的过氧化氢低温等离子体灭菌器内进行，一次灭菌过程包含若干个循环周期，每个循环周期包括抽真空、过氧化氢注入、扩散、等离子化、通风五个步骤。
2.遵循过氧化氢低温等离子体灭菌生产厂家的操作使用说明书，根据灭菌物品种类、包装、装载量与方式不同，选择合适的灭菌程序，每种程序应满足相对应的温度、过氧化氢浓度和用量、灭菌时间等灭菌参数。
三、监测方法：1.物理监测法：每次灭菌应连续监测并记录每个灭菌周期的临界参数如舱内压、温度、过氧化氢的浓度、电源输入和灭菌时间等灭菌参数。灭菌参数符合灭菌器的使用说明或操作手册的要求。
2.化学监测法：每个灭菌物品包外应使用包外化学指示物，作为灭菌过程的标志；每包内最难灭菌位置放置包内化学指示物，通过观察其颜色变化，判定其是否达到灭菌合格要求。
3.生物监测法：
3.1 试验菌株：嗜热脂肪杆菌芽胞
3.2 监测方法：将自含式生物指示物（嗜热脂肪杆菌芽胞菌片）置于生物测试包内，将其置于灭菌器内最难灭菌的部位，经一个灭菌周期后取出，经 56℃±1℃培养，培养时间按自含式生物指示物产品说明书执行，同时设阳性对照，观察培养结果。 若一天内进行多次生物监测，且生物指示剂为同一批号，则只设一次阳性对照即可。
3.3 监测频次：每天至少进行一次。
四、注意事项1.灭菌物品应清洗干净、干燥。
2.灭菌物品的包装材料应符合 YY/T 0698.2 的非织造布和 YY/T 0698.5 复合型组合袋的要求。
3. 灭菌包不应叠放，不应接触灭菌腔内壁。
4. 灭菌器应取得卫生部消毒产品卫生许可批件。
5. 新安装、移位、大修、灭菌失败、包装材料或被灭菌物品改变，应对灭菌效果进行重新评价，包括采用物理监测法、化学监测法和生物监测法进行监测(重复三次)，监测合格后，灭菌器方可使用。
参考文献：
WS/T 367-2012 医疗机构消毒技术规范
WS 310.3-2009 医院消毒供应中心 第 3 部分：清洗消毒及灭菌效果监测标准